-
High-performance XY stage na may linear servo motors
Ang bagong XY stage design ay nagbibigay-daan sa mga kritikal na elemento gaya ng orthogonality, straightness, at flatness na ma-optimize, na nagreresulta sa isang stage na may mga pambihirang geometric tolerance.Ang teknolohiyang direct-drive na may mga core-less linear servo motors ay walang hysteresis o backlash, na nagpapagana...Magbasa pa
