High-performance XY stage na may linear servo motors

Balita

High-performance XY stage na may linear servo motors

Ang bagong XY stage design ay nagbibigay-daan sa mga kritikal na elemento gaya ng orthogonality, straightness, at flatness na ma-optimize, na nagreresulta sa isang stage na may mga pambihirang geometric tolerance.Ang teknolohiyang direct-drive na may mga core-less linear servo motors ay walang hysteresis o backlash, na nagbibigay-daan sa tumpak at paulit-ulit na mga galaw ng sukat ng nanometer sa parehong X at Y na direksyon.

High-performance XY stage na may linear servo motors

Ang non-contact direct-drive na teknolohiya ay nag-aalok ng matatag, tumpak, at mataas na bilis ng pagpoposisyon na kinakailangan para sa mass production ng mga precision device.Ang mga XY stage na ito ay gumagamit ng advanced na direct-drive na teknolohiya upang makamit ang pinakamataas na antas ng pagganap sa pagpoposisyon.Tinitiyak ang tumpak na pagpoposisyon gamit ang isang linear na encoder na walang contact.Ang motor at mga encoder ay direktang pinagsama upang maalis ang backlash.

Kasama sa mga tampok

Direktang drive linear motors

Resolution sa 0.1 microns

Repeatability sa 0.25 microns

Ganap na katumpakan sa 5 microns

Max na bilis 1.5 m/sec

Max acceleration 1.5 G

Trabahong paglalakbay 300 x 300 mm

Ang kumbinasyon ng drive at bearing, na nakabalot sa isang maliit na profile at footprint, ay nag-aalok ng mga nakikitang pakinabang sa maraming aplikasyon tulad ng high-precision positioning, disk-drive fabrication, fiber alignment, optical delay element actuation, sensor testing, at mga proseso ng pag-scan na nangangailangan ng maayos at tumpak na galaw.Ang mga yugto ay maaari ding pagsamahin sa iba pang mga vertical at rotary na yugto.


Oras ng post: Peb-05-2023